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シナジーセラミックの特許普及データシート ００６
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| 名称 |
一次元貫通孔を持つセラミックス膜とその製造方法 | ||||
| 応用分野 適用分野 |
環境、エネルギー |
製品名称 触媒、ガス分離膜、限外濾過膜
部品名称 触媒膜、フィルター膜 |
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| 実施許諾の意思 |
有り |
希望売込先 | |||
| 材料･材質 |
シリカ、炭化ケイ素など | ||||
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発明の概要･技術内容 |
基板上に形成したアモルファス膜を熱処理して共晶分解させる。その共晶分解反応によって基板上に一次元的に成長したセラミック相とそれを取り囲むセラミック相からなる複合膜を形成し、最後に複合膜中の一次元的に成長したセラミック相のみをエッチングで除去することにより一次元貫通気孔膜を得る。 |
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| 定量的メリット･効果 本方法により平均気孔径が1から50ナノメーターの一次元貫通孔を持つセラミック膜が得られることから低圧損のフィルター膜が得られる。また膜比表面積がグラムあたり数百～一千平方メートルと非常に大きいことから触媒膜としても利用できる。 |
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| セールスポイント スパッタ法による膜形成と600℃程度の加熱および酸によるエッチングのみで作製可能なことから安価であり、大面積基板上に形成可能。穴径分布の非常にシャープな一次元貫通気孔膜が作製可能。 |
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| その他の効果及び波及分野 本発明で得られた膜は直接フィルターとして用いられるだけでなく、膜内部に特定の機能性材用を充填するための一次元ナノケージとして用いることができる。 |
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| 出願番号 公開番号 |
特願平8-354930
出願日 H8.12.20 特開平10-182263 公開日 H10.7.7 |
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| 公告番号 登録番号 |
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| 外国出願 |
有り（国名：米国 |
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| 出願人 |
１．ファインセラミックス技術研究組合 ２．工業技術院長 |
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| 発明者 |
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| 技術の問い合わせ先 | 氏名：近藤新二
所属：旭硝子㈱ 中央研究所 硝子･ｾﾗﾐｯｸｽ領域研究所 TEL:045-374-8768 FAX:045-374-8868 E-mail:shinji@agc.co.jp |
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| 関連特許文献 |
特開平7-8729号公報
特公平6-37291号公報 特開平9-157062号公報 |
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| 備考 （専門用語の説明等） |
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