発明の概要･技術内容

　8族元素を0.01〜3mol%貴金属元素0.05〜5mol%残部がチタンからなる成膜液をセラミックス基板上に成膜した後乾燥し、酸化雰囲気中で予備処理を行い還元雰囲気中350〜600℃で焼成を行った後さらに酸化雰囲気中で加熱することにより得られた薄膜は、一酸化炭素に対して高いガス感度と選択性を有する。