発明の概要･技術内容

　炭化ケイ素を主成分とする基体と酸化物層として酸化ハフニウムもしくはこれに１２モル％以下の酸化チタンを混合した層を，酸化アルミニウムの薄層を介して積層し，加熱処理することにより，完全に一体化し，かつ残留応力が低減されて亀裂のない健全な積層体を得る。