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シナジーセラミックの特許普及データシート ０７２
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| 名称 |
高温薄膜型振動センサー |
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| 応用分野 適用分野 |
センサー 構造用材料の破壊検知 |
製品名称
部品名称 |
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| 実施許諾の意思 |
有り |
希望売込先 | センサー業、構造材料製造業 | ||
| 材料･材質 |
強誘電体、焦電体、圧電体、PZT,AｌN,ZnO,LiNb03 | ||||
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発明の概要･技術内容 |
炭化物系、酸化物系、窒化物系またはホウ化物系のセラミックス基板上に、高キュリー点を有し、かつ高振動数に対応できる圧電性セラミックス薄膜を形成し、圧電効果により発生する電圧を取り出すための一対の電極を圧電性セラミックス薄膜の片側にのみに付設する。 |
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| 定量的メリット･効果 |
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セールスポイント |
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| その他の効果及び波及分野 本発明の高温用薄膜型振動センサーによれば、小型で高温に耐え、高振動数が検知可能な高周波数対応型の振動センサー提供することができる。 |
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| 出願番号 公開番号 |
特願平8-298228
出願日H8.10.211 特開平10-122948 公開日H10.5.15 |
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| 公告番号 登録番号 |
第2909532号 登録日H11.4.9 |
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| 外国出願 |
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| 出願人 |
１．工業技術院長 |
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| 発明者 |
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| 技術の問い合わせ先 |
氏名：秋山守人 |
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| 関連特許文献 |
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| 備考 （専門用語の説明等） |
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