発明の概要･技術内容

　複数の相からなる多相材料中の特定相の形態を三次元計測する方法であって、上記多相材料を所定深さまで加工除去し一断面を平面として表出させた後、この平面の二次元観察像を形成する加工・観察サイクルを、深さ方向に順次繰り返し、複数の断面について得られた二次元観察像を上記繰り返し順に合成して三次元像を形成することを特徴とする三次元計測方法。